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系統(tǒng)簡介：
北京某電子股份有限公司是國內(nèi)最早研究和生產(chǎn)擴(kuò)散爐的專用設(shè)備廠。先后為全國器件生產(chǎn)廠家提供4500余管各種型號(hào)的擴(kuò)散爐產(chǎn)品。十幾年，中、高檔擴(kuò)散爐的市場(chǎng)占有率始終都在70%以上。
6472微控?cái)U(kuò)散系統(tǒng)是一種臥式四管擴(kuò)散爐。具有四套獨(dú)立的工藝爐管。 供大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線6″硅片擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝使用。系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，是自行開發(fā)的、具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的主打設(shè)備之一。
系統(tǒng)要求：
1．可配工藝管外徑：φ222mm
2．工作溫度范圍： 400~1300℃
3．恒溫區(qū)長度及精度：760mm /±0.5℃
4．單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：600℃～1200℃ ±0.5℃/24h
5．升溫時(shí)間:從室溫升至1300℃≤90min
6．溫度斜變能力：
升溫速度： 15℃/min
降溫速度： 5℃/min
7． 送料裝置： 程≥1650mm，速度 10～1000mm/min
8．氣體流量設(shè)定精度： ±2％
9．氣路系統(tǒng)氣密性；4×10-9 Atm.cc/s
10．供電電源：三相，ＡC380v/50Hz
研華解決方案：
☆系統(tǒng)采用研華AWS-8420工作站作控制主機(jī)，內(nèi)置式12.1＂彩色液晶顯示器，與各種板卡配套組成了高精度的溫度數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)，并具有多種故障報(bào)警、報(bào)警安全保護(hù)、冷端補(bǔ)償和故障自診斷功能等等。采用PC總線工業(yè)控制機(jī)。功耗小、壽命長。加上自主開發(fā)的、豐富嚴(yán)謹(jǐn)?shù)能浖С郑芊奖愕貙?shí)現(xiàn)了對(duì)爐溫、工藝氣體流量、送料裝置、閥門動(dòng)作、溫區(qū)斜變等的全自動(dòng)控制，并管理全部工藝時(shí)序。自動(dòng)化程度高，除裝卸石英舟晶片外，其余全部由微機(jī)控制；具有良好的人機(jī)界面，系統(tǒng)的各種工藝參數(shù)均可在顯示屏上顯示并修改。
☆由于采用上述PC總線工控機(jī)配置，使設(shè)備很容易實(shí)現(xiàn)恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整功能。不再像以往那樣使用冰瓶、熱偶、分辨率極高的電壓測(cè)量系統(tǒng)，由人工一點(diǎn)一點(diǎn)的測(cè)量爐膛溫度，之后再反復(fù)修正爐溫設(shè)定值，反復(fù)測(cè)量爐膛溫度來調(diào)整恒溫區(qū)。而是啟動(dòng)設(shè)備上的一個(gè)功能鍵，通過Profile熱偶便能實(shí)現(xiàn)恒溫區(qū)的自動(dòng)調(diào)整。
☆在設(shè)備的溫度斜變功能上也有所增強(qiáng)，設(shè)備不僅僅要求單點(diǎn)溫度能以一定的速率變化，更重要的是能使恒溫區(qū)以一定的速率變化。面對(duì)硅片直徑越來越大，溫度斜變功能顯得格外重要。如果設(shè)備沒有溫度斜變功能，特別是工作溫度比較高時(shí)，有可能造成硅片翹曲甚至于碎片；如果溫度斜變功能不夠完善，爐膛升溫時(shí)，也會(huì)造成爐膛各點(diǎn)溫度不同，既而大大降低產(chǎn)品的一致性。采用這套PC總線工控機(jī)配置，通過軟件和硬件巧妙結(jié)合，很成功地實(shí)現(xiàn)了較為理想的溫度斜變功能。可以根據(jù)用戶要求使恒溫區(qū)以一定的速率穩(wěn)步上升或下降。不僅大大的提高了設(shè)備的可靠性。產(chǎn)品片間、批間的一致性都比較好。
選用研華產(chǎn)品：
l AWS-8420
l ADAM-4017
l ADAM-4011
l PCL-726
l PCL-730
小結(jié)：
雖然現(xiàn)代系統(tǒng)工控越來越大量地使用了以太網(wǎng)和組態(tài)軟件，但對(duì)于小系統(tǒng)設(shè)備來說，尤其是對(duì)那些具有VB、VC自主開發(fā)能力的用戶來說，采用這種控制模式無疑是一個(gè)降低成本、增加和保護(hù)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、提高市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力的好方法。
系統(tǒng)原理圖：
北京市公安局海淀分局備案號(hào)：11010802023656號(hào)