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系統(tǒng)簡介：
    北京某電子股份有限公司是國內最早研究和生產擴散爐的專用設備廠。先后為全國器件生產廠家提供4500余管各種型號的擴散爐產品。十幾年，中、高檔擴散爐的市場占有率始終都在70%以上。

    6472微控擴散系統(tǒng)是一種臥式四管擴散爐。具有四套獨立的工藝爐管。 供大規(guī)模集成電路生產線6″硅片擴散、氧化、退火、合金等工藝使用。系統(tǒng)自動化程度高，是自行開發(fā)的、具有完全自主知識產權的主打設備之一。

系統(tǒng)要求：
1．可配工藝管外徑：φ222mm

2．工作溫度范圍： 400~1300℃

3．恒溫區(qū)長度及精度：760mm /±0.5℃

4．單點溫度穩(wěn)定性：600℃～1200℃   ±0.5℃/24h

5．升溫時間:從室溫升至1300℃≤90min

6．溫度斜變能力：

升溫速度：   15℃/min

    降溫速度：   5℃/min

7． 送料裝置： 程≥1650mm，速度 10～1000mm/min          

8．氣體流量設定精度： ±2％

9．氣路系統(tǒng)氣密性；4×10-9 Atm.cc/s                             

10．供電電源：三相，ＡC380v/50Hz

研華解決方案：

☆系統(tǒng)采用研華AWS-8420工作站作控制主機，內置式12.1＂彩色液晶顯示器，與各種板卡配套組成了高精度的溫度數(shù)據(jù)采集和處理系統(tǒng)，并具有多種故障報警、報警安全保護、冷端補償和故障自診斷功能等等。采用PC總線工業(yè)控制機。功耗小、壽命長。加上自主開發(fā)的、豐富嚴謹?shù)能浖С郑芊奖愕貙崿F(xiàn)了對爐溫、工藝氣體流量、送料裝置、閥門動作、溫區(qū)斜變等的全自動控制，并管理全部工藝時序。自動化程度高，除裝卸石英舟晶片外，其余全部由微機控制；具有良好的人機界面，系統(tǒng)的各種工藝參數(shù)均可在顯示屏上顯示并修改。

☆由于采用上述PC總線工控機配置，使設備很容易實現(xiàn)恒溫區(qū)自動調整功能。不再像以往那樣使用冰瓶、熱偶、分辨率極高的電壓測量系統(tǒng)，由人工一點一點的測量爐膛溫度，之后再反復修正爐溫設定值，反復測量爐膛溫度來調整恒溫區(qū)。而是啟動設備上的一個功能鍵，通過Profile熱偶便能實現(xiàn)恒溫區(qū)的自動調整。

☆在設備的溫度斜變功能上也有所增強，設備不僅僅要求單點溫度能以一定的速率變化，更重要的是能使恒溫區(qū)以一定的速率變化。面對硅片直徑越來越大，溫度斜變功能顯得格外重要。如果設備沒有溫度斜變功能，特別是工作溫度比較高時，有可能造成硅片翹曲甚至于碎片；如果溫度斜變功能不夠完善，爐膛升溫時，也會造成爐膛各點溫度不同，既而大大降低產品的一致性。采用這套PC總線工控機配置，通過軟件和硬件巧妙結合，很成功地實現(xiàn)了較為理想的溫度斜變功能。可以根據(jù)用戶要求使恒溫區(qū)以一定的速率穩(wěn)步上升或下降。不僅大大的提高了設備的可靠性。產品片間、批間的一致性都比較好。

選用研華產品：
l AWS-8420

l ADAM-4017

l ADAM-4011

l PCL-726

l PCL-730

小結：
　　雖然現(xiàn)代系統(tǒng)工控越來越大量地使用了以太網和組態(tài)軟件，但對于小系統(tǒng)設備來說，尤其是對那些具有VB、VC自主開發(fā)能力的用戶來說，采用這種控制模式無疑是一個降低成本、增加和保護自主知識產權、提高市場競爭力的好方法。

系統(tǒng)原理圖：