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日前，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(xiàng)的“IC設(shè)備關(guān)鍵零部件集成制造技術(shù)與加工平臺(tái)”研發(fā)任務(wù)圓滿完成并投入使用，標(biāo)志著我國IC裝備零部件在國產(chǎn)化進(jìn)程中又邁出了重要的一步，不僅打破了該領(lǐng)域核心零部件長期依賴國外進(jìn)口的被動(dòng)局面，大幅度提升了我國IC裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈的整體競爭力。
隨著我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，產(chǎn)業(yè)需求已占到全球一半以上，但我國集成電路產(chǎn)業(yè)的供給能力只能滿足國內(nèi)市場需求的1/10，單元部件和零件國際采購受到嚴(yán)重制約，而國內(nèi)供應(yīng)商配套能力嚴(yán)重缺失，導(dǎo)致我國IC設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)在零部件采購和備件采購過程中普遍面臨采購成本、采購周期無法滿足需求，迫切需要解決零部件和集成制造本土化。
平臺(tái)圍繞IC裝備金屬類零部件高效精密加工、表面處理、真空電子束焊等8個(gè)方面展開技術(shù)攻關(guān)與建設(shè)，突破了精密切削加工、特種表面處理和精密焊接等一系列關(guān)鍵技術(shù)。該平臺(tái)已建設(shè)成集精密機(jī)械加工、特種表面處理、精密焊接于一體的IC設(shè)備精密零部件綜合服務(wù)平臺(tái)，建成國際水準(zhǔn)的金屬零部件表面處理及清洗試驗(yàn)線，通過多項(xiàng)國際先進(jìn)的表面處理制程認(rèn)證以及世界IC設(shè)備整機(jī)龍頭美國應(yīng)用材料公司和東京電子公司的整體考核，并成為其戰(zhàn)略供應(yīng)商，也是其在亞洲唯一硬質(zhì)陽極及刷鍍鎳的供應(yīng)伙伴。
同時(shí)，平臺(tái)以共享、開放的方式為國內(nèi)北方微電子、上海微電子、沈陽拓荊科技、沈陽芯源、沈陽新松等10余家IC裝備企業(yè)提供產(chǎn)品研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新、精密機(jī)械零部件的加工制造及特殊表面處理服務(wù)，提供千余款零部件，在保證整機(jī)零部件工藝質(zhì)量的同時(shí)，替代進(jìn)口，降低采購成本，支撐產(chǎn)業(yè)鏈快速發(fā)展，截止去年12月，完成相關(guān)銷售額5727.22萬元，具備黑色金屬零部件清洗6萬件的生產(chǎn)能力。
北京市公安局海淀分局備案號(hào)：11010802023656號(hào)