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職務

北京京儀自動化裝備技術股份有限公司副總工程師

2022主要業績

及所獲榮譽

何茂棟長期致力于集成電路領域高端裝備的設計開發及國產化應用，先后參與國家863項目、國家科技重大專項、北京市科委項目等多個重點項目的研究開發。2014年加入集成電路專用溫控設備項目組，帶領技術團隊開發出40多種型號的溫控設備。所開發的溫控設備采用先進的智能控制算法對溫度進行精密控制，經過科技成果評價，溫控設備整體技術達到國際先進水平，其中溫控精度處于國際領先，在集成電路制造領域得到批量應用，國內市場占有率超過50%，創造經濟效益超過12億元，成功的實現了國外進口高端溫控設備的國產化替代，解決了集成電路專用溫控設備長期被國外壟斷及“卡脖子”的問題，促進“中國芯”的健康良性發展。發表論文6篇，獲授權發明專利38項，實用新型專利33項，軟件著作權20項，多次榮獲省部級科技獎及榮譽獎。

一、2022年主要業績：

（1）獲科技進步獎的溫控設備項目。集成電路制造過程中的刻蝕工藝對溫度具有極其嚴格的要求，要求-40℃~90℃寬溫度范圍，同時要求溫控設備可以適應負載的劇烈變化，實現溫度的精確控制，該低溫溫控設備長期被國外壟斷，在工作中設計開發了面向先進刻蝕工藝的低溫溫控設備，經過嚴苛的測試得到批量推廣應用，該項目科技成果2022年獲北京市科學技術進步二等獎、機械工業科學技術進步三等獎；

（2）應用于國家科技重大專項的溫控設備開發。集成電路制造過程中工藝越來越復雜，對溫控設備的要求也越加苛刻，2022年開發的集成電路專用溫控設備成功應用到客戶承擔的國家科技重大專項中，經過現場極其嚴格驗證，溫控設備運行穩定各項性能指標滿足要求，成功實現國外進口高端溫控設備的有效替代，是目前國內唯一可以匹配該重大專項的設備，成為該項目指定的溫控設備；

（3）國內首創產品。在集成電路的制造過程中部分工藝制程需要進行快速的溫度切換，根據該工藝要求設計開發了半導體專用溫控裝置（Chiller）T-320，經過客戶驗證各項性能滿足要求，該產品填補了國內空白，2022年經過北京市科學技術委員會的鑒定成為國內首創產品，獲263萬元資金支持，用于后續產品系列化升級及推廣應用；

（4）金橋種子工程項目。針對泛林半導體公司LAM的低溫要求，設計開發集成電路專用的低溫溫控設備，該項目2022年獲北京市科協金橋種子資金C類項目支持；

（5）新技術新產品認定。設計開發的半導體專用溫控設備V200等共計5款產品2022年獲北京市新技術新產品認定，半導體專用溫控設備Y-8050DC獲高新技術產品認定；

（6）SEMI認證。設計開發的半導體專用溫控設備V102等共計11款產品2022年通過國際半導體產業協會SEMI認證，為產品進入集成電路制造產線奠定基礎。

二、所獲榮譽

    1、2022年獲全國五一勞動獎章；

    2、2022年獲北京市科學技術進步獎，二等獎；

3、2022年獲機械工業科學技術進步獎，三等獎；

4、2022年獲“北京榜樣”提名人物獎；

5、2022年獲“國企楷模·北京榜樣”創新楷模；

6、2022年獲京儀集團科技成果獎，一等獎；

推薦理由

集成電路專用溫控設備是集成電路制造領域的核心關鍵設備之一，涵蓋機、電、水、制冷、控制等學科的知識，該設備的成功研制打破國外廠家的壟斷解決了“卡脖子”的問題，推動集成電路制造領域高端裝備國產化進程，對我國在集成電路制造領域實現持續快速發展具有積極重要的意義。

集成電路專用溫控設備在控制過程中受多個變量的影響，難以建立溫度控制過程的精確數學模型，在實際的控制過程中具有較大的控制難度。何茂棟從設備的熱傳導結構進行推理，研究和設計其中的溫度控制系統，實現集成電路制造過程中溫度的精密控制。在設備的開發過程中采用先進的智能控制算法對系統的制冷、加熱進行控制，使系統的溫度能夠快速、精確的達到工藝制程的要求。其開發的集成電路專用溫控設備系列產品能夠滿足最先進半導體工藝制程的要求，能夠匹配國內外主流的刻蝕工藝設備，在國內8英寸、12英寸的集成電路制造產線得到廣泛的應用，創造了較好的經濟、社會效益，有力地促進了國內集成電路制造領域健康良性發展。