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臺達(dá)攜手子公司環(huán)球儀器Universal Instruments 整合研發(fā)能力 優(yōu)化半導(dǎo)體IC制程 亮相“SEMICON Taiwan 2023國際半導(dǎo)體展”
臺達(dá)投入工業(yè)自動化領(lǐng)域多年,已在晶圓磨邊與檢測應(yīng)用方案等半導(dǎo)體前端制程具備豐富經(jīng)驗(yàn),本次展會中更整合子公司環(huán)球儀器的技術(shù)實(shí)力,展示后端的高速多芯片先進(jìn)封裝設(shè)備,以半導(dǎo)體關(guān)鍵制程的全方位解決方案助力產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展。
關(guān)鍵詞: 臺達(dá) , 半導(dǎo)體 , 晶圓磨邊

2023年9月6日,臺達(dá)首度攜手子公司環(huán)球儀器Universal Instruments共同參與“SEMICON Taiwan 2023國際半導(dǎo)體展”。臺達(dá)投入工業(yè)自動化領(lǐng)域多年,已在晶圓磨邊與檢測應(yīng)用方案等半導(dǎo)體前端制程具備豐富經(jīng)驗(yàn),本次展會中更整合子公司環(huán)球儀器的技術(shù)實(shí)力,展示后端的高速多芯片先進(jìn)封裝設(shè)備,以半導(dǎo)體關(guān)鍵制程的全方位解決方案助力產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展。

 

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臺達(dá)首度攜手子公司環(huán)球儀器共同參與“SEMICON Taiwan 2023國際半導(dǎo)體展”


臺達(dá)機(jī)電事業(yè)群總經(jīng)理劉佳容表示,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是臺灣科技與經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要關(guān)鍵,臺灣亦在全球半導(dǎo)體供應(yīng)鏈中扮演不可或缺的角色。當(dāng)前,芯片需求回升,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)制造端人力缺口,并造成產(chǎn)能吃緊的困境。因應(yīng)智能制造發(fā)展趨勢,協(xié)助推動產(chǎn)線自動化升級,臺達(dá)以累積多年智能制造設(shè)備的經(jīng)驗(yàn),積極投入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè),開發(fā)前端制程設(shè)備,加上環(huán)球儀器高精度先進(jìn)封裝方案的堅(jiān)實(shí)技術(shù),可充分滿足半導(dǎo)體晶圓精密量測、制程復(fù)雜、多樣化的特性,為半導(dǎo)體業(yè)者走向智能制造之路提供更多選擇。

 

本屆SEMICON Taiwan 2023中,臺達(dá)針對半導(dǎo)體集成電路 (IC) 前端制程,展出晶圓磨邊與檢測應(yīng)用方案,涵蓋晶圓磨邊機(jī)、輪廓儀、分選機(jī)及IR孔洞檢查機(jī)解決方案,進(jìn)行多種晶圓切磨拋加工及邊緣瑕疵精細(xì)量測。至于IC制程最后的封裝測試,臺達(dá)現(xiàn)場展示可搭配市面上各式供料裝置的高速多芯片先進(jìn)封裝設(shè)備,對于多種芯片異材質(zhì)組合封裝應(yīng)用,提供業(yè)界先進(jìn)的解決方案。

 

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聚焦半導(dǎo)體前后端關(guān)鍵制程,臺達(dá)與環(huán)球儀器展出晶圓磨邊與檢測應(yīng)用方案及高速多芯片先進(jìn)封裝設(shè)備


臺達(dá)亦受邀參與高科技智能制造論壇特展之專家開講活動,由環(huán)球儀器策略營銷長Glenn Farris于9月8日與大家分享“異質(zhì)整合系統(tǒng)架構(gòu)”主題。

 

臺達(dá)SEMICON Taiwan 2023展出重點(diǎn):


前端制程:晶圓磨邊與檢測


晶圓是由硅晶棒切割而成的薄片,為制造IC的載板。剛完成切片的晶圓需經(jīng)磨邊設(shè)備,利用砂輪將邊緣磨成圓弧狀,防止晶圓崩裂。臺達(dá)推出晶圓磨邊機(jī)解決方案,提供雙工位研磨載臺,上下料的同時可進(jìn)行研磨工藝,同時具備砂輪快拆功能,輕松快速更換砂輪。除此之外,此設(shè)備整合獨(dú)特影像技術(shù),研磨前實(shí)時精確調(diào)整砂輪位置,研磨后同時檢測研磨質(zhì)量,大幅提升產(chǎn)線效率及設(shè)備稼動率。研磨后的晶圓透過晶圓輪廓儀解決方案,以非接觸及非破壞的方式進(jìn)行Notch、平邊及倒角形狀量測,搭配臺達(dá)獨(dú)有的粗糙度量測模塊及Edge AOI光學(xué)檢測模塊,進(jìn)一步檢測倒角生產(chǎn)質(zhì)量及邊緣缺角瑕疵,有效提高生產(chǎn)力與競爭力。此外,臺達(dá)提供IR 孔洞檢查機(jī)解決方案,適用于晶圓孔洞缺陷檢測及質(zhì)量篩選,方案具光學(xué)自動調(diào)光機(jī)制,可根據(jù)不同厚度、阻值進(jìn)行光學(xué)調(diào)適。檢測后的晶圓進(jìn)入分類分級環(huán)節(jié),晶圓分選機(jī)解決方案依產(chǎn)品特性高速分類,支持不同尺寸一鍵切換,實(shí)現(xiàn)快速換線。

 

后端制程:先進(jìn)封裝


針對IC封裝測試階段,環(huán)球儀器開發(fā)高速多芯片先進(jìn)封裝設(shè)備,高度整合FuzionSC?機(jī)臺及高速晶圓送料機(jī) (High-Speed Wafer Feeder, HSWF)。FuzionSC?機(jī)臺可搭配市面上各式供料裝置,并適用多種半導(dǎo)體應(yīng)用基板、以高于業(yè)界3倍速度高精度貼裝主動或被動組件。本設(shè)備配裝高速芯片送料機(jī)構(gòu),可同時自動供應(yīng)多種不同芯片,內(nèi)含晶圓擴(kuò)張器及芯片自動取放裝置,適用于先進(jìn)封裝制程中不同應(yīng)用,彈性靈活的方案滿足產(chǎn)線多樣化需求。


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