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    在2008歐洲半導(dǎo)體設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)上，杜邦高性能彈性體公司（DPE）重點(diǎn)推出專為半導(dǎo)體熱處理過程開發(fā)的最新Kalrez 8900全氟彈性體部件。Kalrez 8900部件實(shí)現(xiàn)了在更高溫度半導(dǎo)體制造過程中更長的密封壽命，減少了昂貴的設(shè)備停工時(shí)間，降低了設(shè)備擁有成本。

    DPE還公布了Kalrez 9100部件最近在沉積、蝕刻、灰化/剝離等制程上的成功商業(yè)化，并推出了可提高光伏生產(chǎn)密封可靠性的Kalrez產(chǎn)品。

新型Kalrez 8900部件

    在半導(dǎo)體熱處理工藝:如氧化、擴(kuò)散爐、CVD、ALD 和LPCVD等的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的密封應(yīng)用中，Kalrez 8900部件使設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間更長，表現(xiàn)優(yōu)于傳統(tǒng)工業(yè)設(shè)備維護(hù)標(biāo)準(zhǔn)。其綜合性能可有效地延長設(shè)備密封壽命、提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)能。

    Kalrez 8900部件即使在最高325攝氏度的環(huán)境下持續(xù)運(yùn)作也表現(xiàn)出優(yōu)異的熱穩(wěn)定性，極少漏氣，抗溫度循環(huán)影響表現(xiàn)也很出色，因而該產(chǎn)品已在各種嚴(yán)苛的半導(dǎo)體加工應(yīng)用中成功通過測試，這些測試通常都在300攝氏度以上的高溫環(huán)境下進(jìn)行。推薦的應(yīng)用領(lǐng)域包括石英管密封、高壓密封、密封筒和中央環(huán)密封。

    此次為嚴(yán)苛熱環(huán)境推出的Kalrez 8900部件使杜邦高性能彈性體的全氟彈性體產(chǎn)品系列更為完善，該系列產(chǎn)品包括Kalrez 9100、Kalrez Sahara 8085、Kalrez 8002和Kalrez 6375UP等，已在晶片加工中有出色表現(xiàn)的產(chǎn)品。

    Kalrez 9100 

    DPE Kalrez 9100全氟彈性體部件是最新的半透明琥珀色產(chǎn)品，專門針對(duì)在HDPCVD、PECVD、蝕刻、灰化/剝離制程以及非晶/微晶硅電池沉積工藝中的低腐蝕和超低顆粒要求而開發(fā)。Kalrez 9100部件在以上環(huán)境中表現(xiàn)出超長的壽命，減少昂貴的設(shè)備停工損耗并降低設(shè)備維護(hù)成本。

    位于美國得克薩斯州奧斯汀的全球領(lǐng)先的閃存供應(yīng)商Spansion公司，最近通過在使用腐蝕性的SiH4, O2,He加工環(huán)境和NF3及O2等離子體的兩步清洗化學(xué)品的Fab 25工廠中改用Kalrez 9100產(chǎn)品，成功的改善了原先的設(shè)備檢修周期，使產(chǎn)量提高超過20%，設(shè)備維修成本也顯著降低。

    類似的關(guān)于Kalrez 9100部件的應(yīng)用案例還包括：

    IMEC，硅加工及設(shè)備技術(shù)部

    奇夢(mèng)達(dá)，Kalrez 9100現(xiàn)在已被選擇為其11個(gè)不同的DTE chamber密封套件提供密封件，并且正考慮在其他四個(gè)部位的應(yīng)用。

    Kalrez部件應(yīng)用于光電制造

    不論在晶片型還是薄膜型光伏生產(chǎn)過程中，Kalrez 部件均具有廣泛的化學(xué)兼容性和優(yōu)良的熱穩(wěn)定性。Kalrez部件可幫助使用等離子體、高溫和腐蝕性學(xué)品的重要光伏晶片加工設(shè)備提高密封可靠性。光伏制造商們?yōu)榱搜娱L正常運(yùn)行時(shí)間、提高產(chǎn)量，開始使用更有效同時(shí)更具腐蝕性的化學(xué)品和更高的溫度，使得制造工藝面臨更多的壓力。由于密封材料的不相容而導(dǎo)致的計(jì)劃外維護(hù)，會(huì)干擾生產(chǎn)計(jì)劃、造成停工。由于需要更少的預(yù)防性設(shè)備維護(hù)(PM)，Kalrez 全氟彈性體部件可顯著減少停機(jī)時(shí)間，提高生產(chǎn)力，降低生產(chǎn)環(huán)境中的設(shè)備維修成本。

    Kalrez 密封件系列的四個(gè)產(chǎn)品組可用于光伏生產(chǎn)工藝，同時(shí)也可用于多晶硅原料生產(chǎn)和減排系統(tǒng)：

    Kalrez PV8030：用于表面結(jié)構(gòu)處理、聚硅酸鹽去除和“濕”洗滌/減排應(yīng)用。

    Kalrez PV8050：用于邊緣隔離、電弧噴涂、CIS/CIGS和碲化鎘電池膜以及TCO沉積工藝。

    Kalrez PV8070：用于摻雜，鍍金屬，和CIS/CIGS電池膜層沉積工藝。 

    Kalrez 9100：用于非晶/微晶硅電池膜沉積工藝。

    集成生產(chǎn)

    DPE集成了從聚合物開始的生產(chǎn)過程，以增強(qiáng)質(zhì)量控制和產(chǎn)品研發(fā)。Kalrez 全氟彈性體部件是在獲得ISO 9000認(rèn)證的設(shè)施中生產(chǎn)的，可生產(chǎn)從傳統(tǒng)密封形狀和組合門封到客戶定制件，范圍廣泛的成品部件。產(chǎn)品在符合Class 100標(biāo)準(zhǔn)的工作站里經(jīng)過特別清潔并使用雙層包裝，大大減少了被污染的可能性。為了確保可追溯性，每件產(chǎn)品都在有條形碼的袋子中獨(dú)立包裝。可供產(chǎn)品形狀包括O型圈、密封墊片和客戶定制密封件。