來(lái)源: 科技部網(wǎng)站
近日,北京市科委重點(diǎn)支持的高端裝備制造企業(yè)——北京京運(yùn)通科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱京運(yùn)通公司)通過(guò)自主研發(fā),成功開發(fā)出國(guó)產(chǎn)6英寸區(qū)熔單晶爐設(shè)備,并突破國(guó)產(chǎn)設(shè)備的大尺寸區(qū)熔單晶制備工藝技術(shù),采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備連續(xù)成功拉制出了6英寸區(qū)熔單晶。區(qū)熔硅單晶較直拉硅單晶具有更高純度,是電力電子器件的關(guān)鍵材料,廣泛用于電力整流器、大功率晶閘管、功率集成電路等領(lǐng)域,市場(chǎng)前景巨大。
中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)京運(yùn)通公司開發(fā)的區(qū)熔單晶硅爐設(shè)備進(jìn)行了技術(shù)鑒定,專家認(rèn)為,采用該國(guó)產(chǎn)設(shè)備實(shí)現(xiàn)6英寸區(qū)熔單晶硅棒連續(xù)成功拉制,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,打破了國(guó)外對(duì)5-6英寸區(qū)熔單晶生產(chǎn)設(shè)備的壟斷,為推進(jìn)大尺寸區(qū)熔單晶設(shè)備產(chǎn)業(yè)化奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。