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    MEMS傳感器已經在我們每天使用的各類設備上數以百萬計地使用著。在智能手機上，MEMS傳感器提供在聲音性能、場景切換、手勢識別、方向定位、以及溫度/壓力/濕度傳感器等廣泛的應用;在汽車上，MEMS傳感器借助氣囊碰撞傳感器、胎壓監測系統(TPMS)和車輛穩定性控制增強車輛的性能。;醫療領域，通過MEMS傳感器研成功制出微型胰島素注射泵，并使心臟搭橋移植和人工細胞組織成為現實中可實際使用的治療方式;在可穿戴應用中，MEMS傳感器可實現運動追蹤、心跳速率測量等。在城市建設領域，MEMS傳感器可以協助監測基礎設施建設的穩定性，營造充滿活力的反饋系統……MEMS傳感器已經被廣泛地集成到汽車電子、智能家居、智能電網等物聯網應用領域。

    近日全球MEMS供應鏈及物聯網峰會暨MEMS Industry Group(MIG)全球MEMS產業聯盟峰會在上海召開。這是全球最大MEMS行業組織MIG第一次來到中國上海，攜手中國科學院上海微系統與信息技術研究所(SIMIT)和上海微技術工業研究院(SITRI)舉辦以“MEMS供應鏈及物聯網”為主題的MIG上海會議，會議匯集全球MEMS業界精英，聚焦全球MEMS供應鏈及物聯網行業，展現最新國際MEMS技術，探討中國物聯網產業的發展趨勢。

   MEMS傳感器市場發展態勢

   MIG首席戰略官Stephen Whalley在開幕致辭中指出，作為智能感知時代的重要硬件基礎，MEMS傳感器產品需求近年增勢迅猛，“消費類應用成為MEMS傳感器市場的主要推動力。2014年MEMS傳感器市場規模達到130億美元，最大的消費類應用規模達到59億美元，到2019年預計將超過100億美元，年復合增長率約11.2%。而成長最快的是醫療市場，將從今年的24.5億美元增長至2019年的72億美元左右，年復合增長率近30%!”

    MEMS和傳感器的爆發為智能物聯網鋪平了道路。Stephen Whalley如是說。“智能制造、智能電網、智能城市、智能生活……無一不需MEMS傳感器、傳感器融合、無線互連、更好的節能/能量獲取等技術。我們已經來到真實世界與智能物聯世界的邊界，而強大的MEMS/傳感器的供應鏈是促進這一切的關鍵。”

    IHS MEMS及傳感器業務總監Jérémie Bouchaud指出，在今后5到10年內，智能手機以及平板電腦仍然是MEMS主要應用領域。今后MEMS的應用領域將逐漸擴大，包括正在興起的可穿戴設備、可擁有百余個MEMS傳感器的汽車電子，和人們生活息息相關的智能家居和智能城市都是需要大力挖掘的市場。“我們認為會有可穿戴設備的應用，但是它的比例還比較小，目前還不到10%，在這段時間內還是不會超過智能手機應用。在汽車應用方面會繼續看到MEMS傳感器的應用，因為高端的汽車中發現會有一百多個MEMS傳感器，所以汽車是今后可以發展應用的領域。還有關于物聯網，我認為要等待5到10年以后才會有很好的發展，目前完全取決于量的問題。5到10年以后，如果智能家居、智能城市有了很好的發展，物聯網在MEMS傳感器應用方面會有很好的發展，但是在這之前不會看到在物聯網方面MEMS傳感器的發展。” 他表示。

    在手持終端應用領域，Jérémie指出將會出現一些新興傳感器，包括指紋傳感器，環境(濕度、氣體、 紫外線)傳感器，健康(脈搏、血氧)傳感器，熱成像傳感器等。此外MEMS麥克風、運動傳感器包括加速計、磁力計、陀螺儀、壓力傳感器以及不同類別的運動傳感器組合等市場均有較好的成長表現。

    一些主要MEMS廠商動態

    在整個半導體生態體系中，MEMS正扮演著越來越重要的角色，其應用范圍包含了消費電子、汽車工業、工業控制乃至生物醫學、航空航天等領域，且仍在迅速擴大。MEMS在即將到來的物聯網時代中將起到的核心作用，為新科技產品提供更智能、更敏銳的感觀能力。國內外各大MEMS企業都將擴大對MEMS傳感器研發的投入。例如Honeywell的兩條MEMS生產線正火熱運行中;中芯國際正逐漸成為MEMS傳感器領域的制造廠商，把業務從CMOS擴展到MEMS;美新半導體以自家設計的三軸加速度計為例，介紹了目前在傳感器設計中遇到的難點和重大突破。

    Honeywell電子傳感業務總監Michael Young點出了Honeywell目前關注的四個主要領域：“我們主要是關注一些工業方面的引用，包括：

    一，隨著人口老齡化會有更多醫療方面的應用;

    二，隨著勞動力成本不斷上升我們會關注自動化方面的應用，包括和OEM方面的一些合作;

    三，環境監控監測，水的質量，空氣質量的一些監控;

    四，隨著城市化進程不斷加深，很多城市居民小區需要對電進行監控，能源管理，還有安全方面我們也會關注。”

    中芯國際技術研究發展資深總監黃河指出，技術的發展持續推動著MEMS傳感器成本下降——這已經是不可逆的趨勢。“MEMS芯片的成本降低速度遠遠超過了CMOS芯片，而競爭進一步加強了對更緊湊的系統封裝的需求。”由于MEMS工藝的復雜度遠超過CMOS工藝，在現有CMOS晶圓廠的特定產線上預先引入特別的MEMS器件工藝，黃河認為這一途徑具有巨大的潛力，而中芯國際也正在通過此方法將代工業務從CMOS擴展到MEMS領域。例如中芯與Silicon Labs合作開發的CMEMS技術，把MEMS架構直接構建于標準CMOS晶圓上，從而獲完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”單晶片解決方案，以此工藝打造的Si50x系列振蕩器，“這是業界首個0.13微米單片集成的CMOS-MEMS量產工藝。” 黃河強調。此后中芯又將TSV技術引入到CMOS后端制程，發布了另一項業界首個基于0.18微米 e-TSV平臺的3D MEMS SiP商用工藝。“我們應該用全新的視角，以系統的方法來設計、制造、組裝和測試MEMS芯片。技術進步和改進在加速，我們將同時面臨前所未有的挑戰和與機遇。”

    1999年趙陽博士憑借自主發明的熱對流加速度傳感器技術在美國創建了美新公司(MEMSIC)， 同年11月在中國無錫成立公司，并開始研發生產MEMS傳感器。MEMSIC(MEMS+IC)開發了獨一無二的MEMS傳感器組件和系統集成技術，專注于制造多種小型化和成本更低的產品，為消費電子、工業自動化以及航空等領域提供市場需要的多樣產品。現在，美新已在傳感器部件及系統集成方面積累了深厚的技術和經驗。美新半導體總裁趙陽介紹了美新開發的世界首款3D WLP封裝單芯片熱加速度計。

    傳統的加速度計是基于電容或壓電技術，用于測量微機械質量結構運動。這種技術在許多方面具有一定的局限性，如表面粘附(稱為黏附)、滯后、機械振蕩、電磁干擾、昂貴的制造過程，也面臨一些與微機械運動結構相關問題的挑戰。為了解決這些問題，美新開發出一種獨特的技術，該技術解決了與傳統基于MEMS的加速度計相關的問題。獨有專利的熱對流技術，是全球第一家使用標準CMOS工藝的單芯片集成混合信號處理電路的熱對流MEMS慣性傳感器。獨特的單芯片硅片設計方法從根本上降低了成本和增強了芯片性能、功能和質量，“美新的這款熱加速度計芯片尺寸僅1.2mmx1.7mm，檢測范圍包括2g、4g、8g，具有12位精度，零偏移遲滯，售價僅0.19美元起。”他強調。

    “手機仍然是我們會關注的領域。在今后五年我們會看到中國手機出貨量將占全球一半的數量，數量上已經超過三星以及蘋果。中國手機消費也仍然將是全球第一，今后還將繼續增長，這些消費者他們不會消失。”趙陽補充說，“海外市場我們主要關注工業應用，不會關注海外消費者應用。”

    意法半導體執行副總裁兼模擬器件、MEMS及傳感器產品事業部總經理Benedetto Vigna強調，在過去十年，運動傳感器技術徹底改變了人類與電子設備的互動方式。通過研發和推廣運動傳感器到各種智能型消費性電子應用，意法半導體在這一技術革命中扮演了相當重要的角色。據他介紹，目前意法半導體已銷售近50億顆MEMS傳感器及35億顆MEMS執行器。完整的研發設計和制造產業鏈，讓意法半導體成為廠商首選的一站式MEMS供應商，其豐富的產品組合涵蓋微加工加速度計、陀螺儀、壓力傳感器、磁強傳感器和麥克風，擁有整合多個傳感器模塊、板載信號處理器、控制功能、傳感器融合算法和無線接口的能力。作為MEMS市場的重量級制造商，意法半導體的MEMS技術研發同樣處于業界最前沿，擁有近1000項與MEMS相關的專利。意法半導體引領傳感器技術向智能化和獨立化發展，并將會在消費電子、醫療保健、環境科學等諸多領域開創新局面。

    近幾年MEMS市場發展迅猛，逐漸出現了多元化發展的局面。例如單位出貨量增長，但平均售價也迅速下跌;傳統制造廠商與新興無晶圓MEMS廠商的競爭;新興MEMS制造工藝和技術;多起行業并購等等。對此意法半導體也提出了“3+1”的多元化策略即多元化的產品、客戶、應用以及市場。“通過不斷的技術創新以及多元化發展，輔以穩健可靠的批量生產供應鏈和強大的合作關系，MEMS器件及傳感器廠商將推動物聯網市場的增長。在亞太等地區市場上，地區經濟特點必須加以考慮，這樣才能研發適合的產品，提供適合的支持模式。” Benedetto Vigna 指出，“意法半導體將繼續引領MEMS工業發展，因為我們擁有先進的技術產品組合，覆蓋物聯網應用所需的全部關鍵要素，例如MEMS傳感器和執行器，以及嵌入式處理器、電源器件和接口芯片等等。”

    他所理解的物聯網發展的關鍵要素，一是技術創新和產品多元化。這就要求按照新的應用需求改進現有技術并開發新技術，擁有廣泛的產品組合。二是正確的供應鏈和銷售模式。這需要通過一站式采購方案提供無縫服務，通過經銷網絡擴大市場覆蓋率。三是合作伙伴與生態系統，需要開發新的設計能力，提高研發實力，縮短產品上市時間。

    此外，來自德國弗勞恩霍夫電子納米系統研究所的所長Thomas Gessner博士探討了物聯網發展的挑戰：傳感器和驅動。他重點闡述了將MEMS傳感器集成到智能系統中是當今物聯網應用的基礎。而來自加州大學戴維斯分校的教授、伯克利傳感器和執行器中心聯合主任David Horsley博士分享了在壓電式MEMS傳感器的材料、設備及應用中的前沿研究。David Horsley博士的團隊主要有兩個研究方向：利用壓電式MEMS傳感器的特別，實現超聲波手勢識別和超聲波生物識別。

    關于可穿戴設備，他們說……

    為什么可穿戴設備市場會異軍突起?Benedetto Vigna認為，首先可穿戴設備解決了消費者現有的一些需求，它是基于智能手機的個人基礎設施，基于現有的連網標準。“野心勃勃的企業家們發現，物聯網入市門檻鼻復雜的電子產品要低。而微型裝置大規模量產讓終端產品的成本和尺寸更趨于合理。于是可穿戴設備作為物聯網的第一波浪潮開始向我們涌來。”

    Jérémie認為，可穿戴設備目前還在它的嬰兒階段。“我們看到的現階段的可穿戴設備主要表現為各種手鐲或者是手表，谷歌眼鏡等等，主要是娛樂型的，仍然停留在可穿戴設備的早期階段。我們認為必須要進到下一步，比如除了娛樂，能夠檢查生命體征、心跳、脈搏以及血壓等功能。”他強調，“尤其重要的是：你早晨起床去上班，其實你不需要有這樣穿戴性設備給你日常生活帶來的干擾，我們需要有更多透明，更加簡潔方便的穿戴性設備，你不需要把它啟動，或者和云聯系在一起進行同步，晚上還要給它充電。如果需要做那么多繁復的工作，我認為這樣的穿戴性設備在今后是不會有市場的。”他指出現在已經有了一些嘗試，比如把它和衣服整合在一起，只要穿上這個衣服，穿戴性設備就在上面了，但目前成本還是比較高。必須要把成本降低下來，否則今后是不會有廣泛的應用。

    趙陽也表示，“可穿戴設備的真正意義在于，我們會把internet穿在我們身上，通過這種方式達到人機結合，就像中國人講的人和天地之間的融合，是通過我們的傳感器連接耳朵和鼻子與世界。現在通過人機連接和internet連接，等于internet穿在我們身上了，而不是只做一個設備。”

    樓氏電子商務拓展總監Angelo Assimakopoulos表示，穿戴市場估計在2018年時將達到1.2億部。“但是我們真正要看可穿戴設備到底給我們帶來怎樣的價值，如果不能夠給我們帶來價值，僅僅是時尚潮流，就只是曇花一現，不久就會消失。現在可以看到一些智能手表，如果能夠通過它發短信或者看天氣預報，這是很好的應用。但是現在可穿戴設備沒有特別的類別劃分出來，也沒有相應的指征說明今后到底機遇在哪里。目前我們發現戴手表的人是25歲或者30歲以上的中年人戴手表，小于25歲的人群沒有戴手表的習慣，所以還無法預測今后方向是怎么樣的。我們今后潛在的客戶現在還沒有工作，所以我們無法預測他們今后是否會產生購買欲望或者購買沖動，所以還是未知數。”他強調，“對傳感器制造商來說會有機遇。對健康醫療設備業界公司和相關用戶界面公司來說會有一些機遇，所以可穿戴設備今后還是有機會的。”

    機遇與競爭齊飛，全球廠商云集中國MEMS市場

    中國作為全球最大的電子產品生產基地，消耗了全球四分之一的MEMS器件，吸引了全球的目光。同時中國MEMS傳感器產業的生態環境正逐漸完善，目前正在快速的發展壯大中。

    中國的手機產能世界第一，同時也是物聯網的明確領導者，中國的能手機、汽車電子和物聯網的應用正在廣泛的普及中。中科院上海微系統所所長王曦院士在講話中提到，當創新型企業不斷涌現，MEMS傳感器研發領域的生態系統日益完善，主要的MEMS產業研發中心集中在上海和江蘇，全國的MEMS企業眾多，積極的競爭愈發火熱。今后MEMS將在消費電子、汽車工業、工業控制乃至生物醫學、航空航天等領域扮演越來越重要的角色。

   “蘋果和三星在智能手機中的創新應用，引領了MEMS技術的潮流。現在中國本土的手機OEM廠商如小米、華為、OPPO、VIVO、魅族等等，也越來越多地采用更多的MEMS傳感器芯片。” 王曦表示，“中國的MEMS產業生態系統也正逐步完善，從研發、開發、設計、代工、封測到應用，產業鏈已基本形成，上海、蘇州、無錫都形成了研發中心。”

    中國作為MEMS的新戰場，已經在智能手機和平板電腦兩個MEMS的主要應用領域有很強的市場能力，Jérémie分別從需求側和供應側分析了中國MEMS市場(主要是智能手機應用)的現狀。

    從需求側，中國手機OEM的激增極大地刺激了MEMS傳感器市場。以下幾個圖表清楚地表現出這一市場的火爆。

    另外，隨著新興國家市場也逐漸轉向品牌產品，中國的白牌(山寨)手機市場不斷下滑，頂級OEM廠商如華為、聯想、酷派等以及大多數地方小品牌將他們的低端智能手機外包給華勤、聞泰、龍旗等IDH方案商。這部分手機市場也占了一定的份額并呈增長趨勢。“在大部分低端手機市場，如壓力計、陀螺儀等中高端功能滲透率較低。而一些‘必備’的傳感器如分立加速度計，以及便宜又易于設計諸如‘ALS+Prox+IR emitter’的組合傳感器具有較大市場需求。”值得一提的是，他指出中國的所有智能手機OEM都在等待能夠檢測PM10, PM2.5的顆粒物傳感器，然而目前還沒有能夠適合集成在手機中的可行的技術。

    從供應側看。中國智能手機OEM整體迅速脫穎而出，成為第三大MEMS采購力，僅次于蘋果和三星。“因此那些不重視中國市場的傳感器供應商將會遇到麻煩。例如光傳感器供應商Capella。”Jérémie指出，“該公司將其資源全部集中在傳統客戶三星和HTC，錯過了中國OEM爆發的時機，在2010-2012年以50%~100%速度高速成長期過后，2013年就下跌20%。”

    因此總結來看，中國已經成為MEMS的新戰場，各老牌MEMS及傳感器供應商包括光傳感器、運動傳感器等供應商均已轉戰該市場，而新玩家、新技術包括MEMS自動對焦、投影觸控顯示的微型投影儀、手機用氣體傳感器等也將可借此作為踏腳石進入MEMS市場。與此同時不利的因素包括，中國市場加速了產品價格的下跌、謠言散播等不正當的競爭。

    未來中國MEMS及傳感器需求可能實現自給自足嗎?Jérémie認為，就目前來看，中國大部分MEMS及傳感器仍依賴進口，在2013年全球top 50 MEMS供應商中中國廠商僅有三家，AAC、Goertek和美新，而中國市場也不是這些中國頂級MEMS供應商的主要市場。“目前中國本土興起了許多芯片設計初創企業，但是出貨量仍然很低，例如Senodia, QST, Miramems (動作傳感器), Memsensing (麥克風.), Goodix (指紋識別)等。代工業也正在興起，比如中芯國際和華虹宏力，在2013年中國MEMS純代工業務市場份額僅為2%。”他總結說，“然而如果從封裝開始做起則較容易取得成功，例如MEMS麥克風供應商AAC, Goertek, Gettop等通過收購英飛凌的MEMS和ASIC芯片然后自己封裝。第二階段則是開發自己的MEMS芯片，例如AAC正在與Memstech進行MEMS技術的開發，Goertek也已經有自己的MEMS芯片技術。接下來他們就可以將這些麥克風領域的經驗擴展到其他MEMS及傳感器領域，并拓展國內市場。”

    在閉幕主題演講中，上海矽睿科技有限公司首席執行官謝志峰分享了矽睿科技的創業故事，以及矽睿科技“從中國制造到中國創造”的愿景。他以兩個生動形象的例子來說明了矽睿科技在創業過程中遇到的主要挑戰和獲得的重要成功，并探討了中國MEMS傳感器產品的設計制造流程，分享他理解中的物聯網對中國半導體行業所產生的影響。

    國內MEMS/NEMS概況

    MS/NEMS在全球蓬勃發展，中國大陸作為一個重要的市場也必然有迅速的發展。本刊首次對國內知名的MEMS/NEMS企業做了統計，以對行業發展狀況進行初步的分析。本次統計了28家大陸MEMS研發企業，既包括已成立數十年的老牌公司，也有剛剛成立的新銳公司，遍及8個省級行政區。

    地域分布

    北京、陜西和江蘇是MEMS/NEMS企業最多的省/直轄市，上海、重慶也有較多企業。山東、河北、遼寧和廣東四省也有相關企業。

    北京地區的高校和研究所眾多，科研實力雄厚，從事MEMS/NEMS研發起步較早，而且政府和有關高校對于科技研究的產業化也給與大力支持。

    陜西省教育、科研和工業實力在西部地區排名前列，有為數眾多的高校和研究所，還擁有航空研發和制造基地，包括多家著名的飛機設計所和飛機制造公司，這些都為MEMS/NEMS企業的發展提供了很好的機會。

    江蘇省位于東部沿海，財力雄厚，科技發展速度快，整體科技和工業水平均較高。而且江蘇省各地政府部門對于高新技術發展支持力度很大，蘇州市著力打造蘇州工業園區生物納米科技園，希望使其成為生物科技的創新平臺。無錫市積極建設中國微納國際創新園，并將微納米產業作為重點發展對象。

    上海市也是院校和科研院所云集，人才濟濟。位于長三角的核心地帶，產業發展的相關條件都十分優越。重慶科研院校為數不少，工業基礎好，有多家老牌的儀器儀表企業，政府亦十分關注MEMS產業的發展并作出了很多努力。

    簡評： 這些省市境內一般都有眾多的知名高校和研究所，科技實力領先；地方政府對于科技發展確實重視，有相應的政策和措施來支持微納產業的發展。

  產品類型

    首先關注兩家加工設備提供商，其中北京七星華創電子股份有限公司的背景是七星華電科技集團，歷史可以追溯到原700廠、706廠、707廠、718廠、797廠、798廠六家國家骨干電子企業，研發實力為國內最強。另一家設備商–創威納科技有限公司的主要技術人員曾在中國科學院微電子中心、清華大學等單位長期從事半導體設備及工藝研究工作，具有較強的產品研發實力。加工設備是行業發展的基礎設備，為了給為國內企業提供持久的技術支持，自主研發加工設備是必由之路。我們期待未來將會有越來越多的自主設備出現在工藝線上。

    在MEMS/NEMS器件及系統方面，當前主要產品包括：壓力傳感器、慣性傳感器、聲學傳感器、地震檢波器、生物芯片、微流體芯片、微內窺鏡。

    研發壓力傳感器的單位眾多，這也與壓力傳感器在國內研究起步較早有重要關系。在此要重點提到的是寶雞秦明傳感器有限公司，其研發部門前身為寶雞傳感器研究所，是國內最早開展微壓力傳感器研究的單位之一，并且帶動了多家企業，例如位于江蘇的昆山雙橋傳感器測控技術有限公司就與寶雞傳感器研究所頗有淵源。壓力傳感器發展迅速也與市場的巨大需求分不開，廣泛用于工業領域的測試控制、醫療領域、汽車領域，在未來幾年市場還將迎來更大的發展，例如輪胎壓力監測系統（TPMS）。

    慣性傳感器一直是MEMS產業的重要推動力量，在國內市場也是如此。北京、河北、陜西、上海均有進行慣性MEMS研發和生產的單位。在此要重點關注的是陜西省，其境內有眾多企業均從事慣性MEMS研發，例如業內頗具名氣的西安中星測控有限公司。這與陜西省的科技發展歷史有關，陜西是重要的航空研發/生產基地，包括中國航空工業集團公司第一飛機設計研究院、西安飛機工業（集團）有限責任公司和陜西飛機工業（集團）有限公司等。目前國內的慣性MEMS在性價比和精度、量程等方面還需提高，以增強競爭力。

    聲學傳感器方面，主要有兩家企業：位于山東的歌爾聲學股份有限公司和蘇州敏芯微電子技術有限公司。業已上市的哥爾聲學致力于電聲行業微型電聲元器件和消費類電聲產品的研發和制造，主要產品包括微型麥克風、微型揚聲器/受話器等。蘇州敏芯成立時間較短，但較為活躍，目前主要產品是微型硅麥克風芯片。

    地震檢波器在礦產勘探方面應用廣泛，MEMS檢波器以高性價比正逐步獲得更多市場份額。 威海雙豐電子集團有限公司和西安思坦地震技術有限公司致力于這方面的研究，經過十多年的發展已發展了多類產品并應用。
 
    生物醫療領域也有數家企業具有相當實力。博奧生物有限公司已經研發出了多種生物芯片及芯片實驗室，在國內外均有較高的知名度。博奧生物以清華大學、中國醫學科學院等科研單位為技術依托，研發實力當屬一流，但是當前國外相關企業也很多，競爭亦很激烈。重慶金山科技（集團）有限公司的拳頭產品是基于MEMS技術的膠囊內窺鏡和硅微型泵，其中膠囊內窺鏡項目技術達到國際領先。

    簡評：產品種類比較少，主要還是慣性器件和壓力傳感器，而且多是中低端產品。一方面這與市場的需求導向有關，另一方面這也反映了國內MEMS/NEMS企業的一個弱點—總體上研發實力不夠，創新性強的新器件、新系統鮮有出現。重慶金山科技的膠囊內窺鏡在這方面表現可圈可點，值得借鑒和學習。

    公司規模/注冊資本/營業額

    注冊資本能在一定程度上反映企業的投資規模和實力，我們對比了能從22家MEMS企業的注冊資本，以從一個方面反映國內MEMS企業的發展狀況。從圖中可以看出，大部分MEMS企業的注冊資本在5000萬以下（占82%），其中注冊資本在500萬以下的約占36%，注冊資本在1000萬-5000萬(不含)的占36%，說明中國大陸的MEMS企業主要是中小企業。注冊資本在1億以上的共有三家，北京七星華創電子股份有限公司、北京博奧生物芯片有限公司和歌爾聲學股份有限公司，注冊資本分別為9億、3.765億和1.2億人民幣。以上三家企業在各自領域都是佼佼者。

    總體來看，中國大陸的MEMS企業還有很大的發展潛力。身處全球最大的MEMS市場，國內的MEMS企業有著顯著的市場優勢，而現有的企業數量和發展規模與巨大的市場很不相稱。

    研發類型

    MEMS是一項新興的技術，最初多來自高校和研究所，或是國企，因此走向產業化的MEMS企業也與高校和研究所有著千絲萬縷的聯系。我們將中國大陸的MEMS企業的發展類型分為三種：源自高校和研究所，源自國企，自主研發。

    1. 源自大學、研究所

    ◆ 北京青鳥元芯

     以“北京大學微電子學研究院“和“微米/納米加工技術國家級重點實驗室“為技術依托。

    ◆ 博奧生物

     以清華大學、中國醫學科學院等科研單位為技術依托，是生物芯片北京國家工程研究中心。

    ◆ 西安維納信息測控有限公司

     以西安交通大學為技術依托。

    ◆ 上海芯敏微系統技術有限公司

     以中科院上海微系統所傳感技術國家重點實驗室為依托。

    ◆ 沈陽匯博實業公司

     以沈陽儀器儀表工藝研究所為依托。

    ◆ 北京創威納科技有限公司

     主要技術人員曾在中國科學院微電子中心、清華大學等單位長期從事半導體設備及工藝研究工作。

    ◆ 歌爾聲學股份有限公司

     與中科院聲學所、北京郵電大學等國內外多家知名高校和科研機構建立了長期的戰略合作伙伴關系。

    2. 源自國企

    ◆ 七星華創

     北京七星華電科技集團有限責任公司，是在原七○○廠、七○六廠、七○七廠、七一八廠、七九七廠、七九八廠六家建于“一五”期間的國家骨干電子企業的基礎上，重組、改制而成的高科技企業集團。

    ◆ 寶雞秦明傳感器有限公司

      是我國第一個專業化生產壓阻壓力傳感器技術研究開拓者之一，中國第一個傳感器專業研究所—寶雞傳感器研究所是其開發研究中心，是集科研，生產，銷售為一體的國有企業。

    ◆ 昆山雙橋傳感器有限公司

    其總經理王總原任寶雞秦嶺晶體廠總工程師，寶雞傳感器研究所所長。

    ◆ 重慶金山科技（集團）有限公司

      自主研發。

    ◆ 蘇州敏芯微電子技術有限公司

      海外留學人員創業。

    ◆ 深迪半導體(上海)有限公司

      海外歸國人員創業。

    總體來說，目前國內的MEMS企業的研發大多是依托高校、研究所，或者本身就是具有研發能力的國有企業。近年來海外留學人員歸國創立的MEMS企業也越來越多。自主研發的民企中，重慶金山是出色的代表，其標志產品“膠囊內窺鏡”即為其自主研發。我們也希望看到越來越多的有特色的MEMS企業涌現。