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前言

多功能烤箱、數(shù)字時鐘、烤面包機和GPS導(dǎo)航設(shè)備有什么共同之處？這很簡單：它們都依賴于從硅片制成的微芯片。在今天的消費市場中，想要找到一個不用微芯片的產(chǎn)品幾乎是不可能的。應(yīng)用的巨大帶寬給半導(dǎo)體元器件開發(fā)人員提出了一項重大挑戰(zhàn)。他們持續(xù)面臨的壓力是，如何將越來越多的功能集成到尺寸不斷縮小的芯片上，與此同時還要降低生產(chǎn)成本。比如，你手腕上的智能手表比你在十年前使用的辦公室電腦都要便宜但性能更強大。

半導(dǎo)體材料薄片，被稱為晶圓，包含超過1000個芯片，內(nèi)含數(shù)十億個晶體管及其它組件，一般直徑達(dá)300毫米。這種復(fù)雜性使得新設(shè)計和生產(chǎn)方法的開發(fā)與驗證變成一種非常重要的工藝。盡管如此，分配給開發(fā)的時間仍然在迅速減少。

晶圓生產(chǎn)是一個復(fù)雜的工藝過程。在晶圓測試中，必須使用探針與晶粒上僅幾微米的接點相接觸。對該過程的控制必須滿足嚴(yán)格的電磁兼容性和可靠性要求。

徹底測試確保質(zhì)量

為了驗證新開發(fā)組件的功能，確保一旦達(dá)到批量生產(chǎn)后產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，晶圓被生產(chǎn)出來之后就需要在探針臺上接受廣泛測試。每個晶片被送入測量室，通過卡盤進(jìn)行微米級精度的定位，并加熱至特定溫度。然后使用探針與芯片上指定的接點相接觸。外部測量和測試儀器根據(jù)測試程序控制位置，然后開始測量。測試是在溫度范圍從-55°C至300°C內(nèi)進(jìn)行的。根據(jù)不同的應(yīng)用，測得的電流范圍可以從幾個毫微微安培（小數(shù)點后15位的數(shù)字或每秒通過6250個電子）到400安培。測量頻率達(dá)GHz范圍。例如用于車載雷達(dá)系統(tǒng)的芯片或測量充電/放電電容值低至幾個毫微微法拉的情況也并不少見。因此，需求規(guī)范的一個突出特點是能夠排除各種電磁干擾源。

裝有晶圓的卡盤

高科技測量室預(yù)防測試干擾

Cascade Microtech GmbH是總部設(shè)在俄勒岡州比弗頓的Cascade Microtech公司的子公司，他們對這些需求非常熟悉。作為一家全球領(lǐng)先的晶圓探測解決方案提供商，該公司在1992年首次推出擁有專利技術(shù)的探針臺，從那時到現(xiàn)在不斷進(jìn)行改進(jìn)。公司擁有超過50年的精密定位技術(shù)開發(fā)經(jīng)驗，掌握所涉及的所有工藝是公司日常運營的組成部分。“在給定條件下，為了使探針與僅30微米的接點相接觸，必須考慮幾個因素，”Jorg Kiesewetter解釋道。Kiesewetter是CascadeMicrotech公司德累斯頓辦事處探測系統(tǒng)研發(fā)經(jīng)理。在這里，140名員工為全球各地超過800位客戶開發(fā)并制造這些系統(tǒng)，包括半導(dǎo)體生產(chǎn)商如IBM、英特爾和英飛凌，以及眾多組織如歐洲微電子研究中心（IMEC），它是歐洲最大的納米和微電子技術(shù)研究中心。

Cascade Microtech公司CM300雙探針測試臺

精確定位

就實現(xiàn)必要的精度而言，Cascade Microtech公司的專家可以提供眾多機械和電氣解決方案。他們擁有多達(dá)190項專利就是明證，例如，針對定位階段、數(shù)字相機和其它輔助設(shè)備的25個軸中有幾個需要冷卻?！爸苯訙y量芯片電接觸的質(zhì)量是不可能的，”Kiesewetter指出，“因此，這個工藝過程從本質(zhì)而言是可靠的?！眱H僅幾微米的定位誤差就可能致使整個晶圓或帶有超過10000個接點的探針卡無法使用。這將導(dǎo)致數(shù)十萬歐元的損失，更不用提會有損公司聲譽。然而，需求在不斷快速加強?！敖狱c占據(jù)了寶貴的表面區(qū)域，因此，它們正在被做地越來越小，不久就將變成20微米——不足人類頭發(fā)橫截面的四分之一。”最重要的是，設(shè)備用戶提出了眾多特殊要求。為了滿足安裝要求，CascadeMicrotech公司從三年前就開始評估新的控制器設(shè)計概念。

DC測試設(shè)置為低泄漏測量

布置在狹小空間內(nèi)，防止電磁輻射，帶有貝加萊組件的機器控制器

模塊化加速開發(fā)

除了產(chǎn)品的長期可用性、電磁兼容性以及全球銷售和支持網(wǎng)絡(luò)之外，控制系統(tǒng)的模塊化設(shè)計也是一項重要標(biāo)準(zhǔn)。繼續(xù)開發(fā)現(xiàn)有的C++程序代碼也相當(dāng)有必要。貝加萊提供了最令人信服的解決方案，CascadeMicrotech已經(jīng)計劃在更多設(shè)備上實施該方案。針對各種運動控制任務(wù)，設(shè)計師可以自由選擇是使用直流電機還是步進(jìn)電機。在軸控制方面采用貝加萊通用運動控制軟件方案使CascadeMicrotech公司得以保持硬件和軟件獨立，并在無需修改任何代碼的情況下適應(yīng)不同類型的電機?！拔覀兯鶕碛械耐耆K化有助于我們顯著縮短開發(fā)時間，”Kiesewetter說道。“來自萊比錫貝加萊專業(yè)工程師的出色支持幫助我們節(jié)省了寶貴的時間?！?/p>

摘自《自動化博覽》2020年2月刊