· 滿足半導體設備對穩(wěn)定性及高性能的雙重標準
· 保障精密設備的電動機控制中心安全、連續(xù)、穩(wěn)定運行
時代搭臺,政策助力,為高技術(shù)含量、高附加值、強競爭力的高端制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展營造了良好氛圍,推動從“制造”到“智造”的新常態(tài)。半導體設備作為高端裝備制造產(chǎn)業(yè)的代表、芯片制造環(huán)節(jié)的基石,在5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等高新技術(shù)加持下迎來戰(zhàn)略機遇期,向智能化、數(shù)字化、綠色化升級轉(zhuǎn)型。
中微半導體設備(上海)股份有限公司(簡稱“中微公司”)致力為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術(shù)解決方案,其開發(fā)的電容耦合等離子體(CCP)刻蝕設備、電感耦合等離子體(ICP)刻蝕設備、深硅刻蝕設備及MOCVD設備,在性能和競爭力方面均達到國際前三的水平。這些設備是制造微米級和納米級微觀器件的關(guān)鍵,而微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎,正不斷改變著人類的生產(chǎn)和生活方式。ABB為中微公司提供了Tmax XT塑殼斷路器、AF接觸器、SU200M微型斷路器等技術(shù)產(chǎn)品,保障精密設備的電動機控制中心安全、連續(xù)、穩(wěn)定運行。
半導體全產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)壁壘較高,半導體設備必須兼顧性能與穩(wěn)定性,才能滿足晶圓制造嚴苛的良率要求。芯片越先進,所需的制程越小,微觀圖案的“分辨率”就越高。以中微公司的刻蝕設備為例,作為納米級雕刻的“手術(shù)刀”,其工藝是在芯片上進行微觀加工,芯片加工的精度相當于達到頭發(fā)絲直徑的萬分之一,要求極其苛刻。ABB的電氣產(chǎn)品滿足了半導體設備對穩(wěn)定性及高性能的雙重標準。
Tmax XT塑殼斷路器為雙重絕緣結(jié)構(gòu),具有超強的抗機械震動和抗電磁效應,保證了設備的安全性。而AF接觸器擁有寬電壓、低功耗,分合式開關(guān)等優(yōu)勢,可在電壓不穩(wěn)定電路中的穩(wěn)定、持續(xù)運行,是電機控制和電路通斷的一個重大提升,能幫助中微公司減少80%的消耗。因散熱量減少,同時增加了控制柜中的安裝密度,實現(xiàn)了降本增效。
萬物互聯(lián)的時代,機械設備的智能化升級勢在必行。ABB數(shù)字化解決方案能夠?qū)χ悄茉骷M行設備健康管理,提前預測設備故障,減少非預期停電所造成的經(jīng)濟損失,變被動預防式維護為主動預測性維護。ABB與中微公司通力合作,計劃將在半導體設備中應用ABB數(shù)字化模塊,實時監(jiān)測開關(guān)主回路運行溫度,保障設備的運行安全、穩(wěn)定,實現(xiàn)智能運維。
ABB電氣中國總裁趙永占表示,半導體裝備制造是信息技術(shù)的核心,需要更為精密先進的技術(shù)集成。ABB電氣產(chǎn)品在中微半導體設備上的成功應用,提升了精密設備的穩(wěn)定、可靠性,印證了ABB在電氣領域深厚的技術(shù)專長和品質(zhì)保證。中微公司是中國高端裝備制造產(chǎn)業(yè)的標桿企業(yè)之一,ABB愿與行業(yè)先鋒進一步探索機械設備的高質(zhì)量發(fā)展。
ABB(ABBN: SIX Swiss Ex)是全球技術(shù)領導企業(yè),致力于推動社會與行業(yè)轉(zhuǎn)型,實現(xiàn)更高效、可持續(xù)的未來。ABB 通過軟件將智能技術(shù)集成到電氣、機器人、自動化、運動控制產(chǎn)品及解決方案,不斷拓展技術(shù)疆界,提升績效至新高度。ABB擁有130多年的卓越歷史,業(yè)務遍布全球100多個國家和地區(qū),員工人數(shù)達10.5萬。ABB在中國擁有研發(fā)、制造、銷售和工程服務等全方位的業(yè)務活動,27家本地企業(yè),1.5萬名員工遍布于約130個城市,線上和線下渠道覆蓋全國約700個城市。