近年來,汽車行業的發展迅猛增長,隨之而來的汽車電子產品的需求量也在不斷攀升,特別是傳感器市場的發展尤其引人關注。隨著半導體行業的發展,MEMS技術成為微型化、集成化的基礎,采用MEMS技術的傳感器不僅變得微型化,還具有信息檢測與控制等諸多功能,可以實現智能化。因此,以MEMS技術為基礎的微型化、多功能化、集成化和智能化的傳感器將逐步取代傳統的傳感器,成為汽車傳感器的主流。目前MEMS汽車傳感器主要應用于汽車的發動機控制系統、車身控制系統和底盤控制系統,典型產品有壓力傳感器、慣性傳感器及傾角傳感器等。 |